靶材是镀膜的原材料,通过磁控溅射、多弧离子镀、离子束溅射或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下将其溅射,形成气态原子,经过迁移在基板上沉积形成各种功能的薄膜。 其结构形式可根据需要进行定制,包括圆柱管靶、矩形平面靶、圆柱平面靶、异性等;其尺寸、材质也根据客人需要定制。 目前各类金属靶、陶瓷靶、合金靶、化合物等种类应有尽有,均可根据工艺需要定制。 蒸发镀膜材料更是琳琅满目,十分丰富,广泛应用于半导体集成电路、太阳能、数据存储、玻璃工业、装饰镀膜、工具镀膜等行业。