Core components

核心部件

各类蒸发源

蒸发镀膜可以简化理解为在高真空环境下镀膜材料受热蒸发成为气体原子,进过位置迁移后在温度较低的基板上再沉积凝结成膜的过程。
蒸发源是蒸发镀膜技术的核心部件,其种类较多,包括感应加热、陶瓷连续送丝、Mo/BN/W舟、W丝、电子枪、电弧源等,在实践应用中我们根据不同工艺特点而择优选用。


感应加热蒸发源



连续送丝蒸发源


电阻坩埚蒸发源



Mo/BN/W舟、W丝


电子枪蒸发源

电弧蒸发源