目前，纳米科技、环保科技、生命科学和材料科学是高科技重点研究的领域。科技发展越来越快，由于数字地球、信息高速公路等新概念的提出，影响和带动了全球的高科技发展。在高科技重点研究的领域中，纳米科技又以纳米电子学为优先研究领域，终将致使真空镀膜技术成为科学发展的一项重点。
目前超大规模集成电路是计算机和信息技术的基础，但下个世纪的纳米电子集成电路将是基本的元件。它是下一代的微电子器件，有自己的材料，技术和理论。现有微电子器件的主要材料是极纯的硅，锗等晶体半导体。纳米电子器件有可能是以有机或无机复合晶体薄膜为主要原理，要求拥有更高的纯度、更完善的结构。真空制备的清洁环境，有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。
总之，薄膜和表面科学，纳米技术及微电子器件等迅速发展，将使一起开发和检测方法体系研究成为真空镀膜技术中的发展重点，而真空镀膜技术中的电子束蒸发源将是一种重要的加热方法和发展方向。
