分子层沉积(Molecular Layer Deposition)是一种高级的有机聚合物薄膜与有机无机杂化膜制备技术,可以实现每个循环沉积一个分子层,精确控制厚度。通过将两种反应气体以气体脉冲形式交替地引入反应器,依靠留在基底表面的吸附分子(如羟基或氨基)进行缩聚反应而生成聚合物薄膜,如聚酰胺、聚酰亚胺、聚氨酯、聚脲等。
应用场景:微电子, 薄膜封装、生物芯片,润滑,耐磨,耐腐蚀,防水保护层,药片薄膜衣等领域。
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