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整机设备

蒸镀(Thermal Evaporator)设备

蒸镀技术在真空容器中将欲蒸镀的材料加热直至汽化升华,并使此气体附着于放置在附近的基板表面以沉积成膜。JUMO专为科研院所及实验室研发小型高真空蒸发镀膜系统。采用多组蒸发源可兼容金属、氧化物、有机物蒸发。

应用场景:电子器件制备、功能薄膜、扫描电镜制样、太阳能电池、OLED等。